极低能量,极低束流粒子束密度分布仪研制任务采购公告

本测量仪用来测量极低能量，极低束流粒子束（包括离子和电子两种类型）束密度分布和束流。
被测的电子束源和离子束源的技术指标如下：
•电子束能量范围：0.1keV～30keV
•离子束能量范围：0.2keV～30keV
•束流动态范围：103～1010/cm2s，可调
•束斑直径：>70mm
•束流包络散角：半角小于1度
•束流均匀度：截面内均匀性优于±5%
•离子种类： H+、He+、N+、Ar+
•离子电荷态：1价或2价，可调
•离子束纯度：优于95%
•束流稳定性：优于±3%/hr
要求测量仪的主要技术指标如下：
（1）束斑测量范围>7cm，测量点的空间分辨率<0.5mm。
（2）在Φ7cm范围内各点的输出讯号与入射束流的正比性误差小于±2%。
（3）测量仪的束流动态范围为：103～107/cm2s。
（4）在束流动态范围为105～107/cm2s内经与束流绝对测量仪表校正后可供103～105/cm2s范围内Φ7cm内总束流的测量。
（5）数据处理后应可供计算机上直接输出总束流，束流分布立体图，X-Y平面内等密度轮廓线等。

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联系人：范玉华  赵涛

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北京高能科迪科技有限公司

2013-3-26